等离子体有机废气处理技术工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约8eV的大量电子作用下，使通过处理设备的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化为各种活性粒子，与空气中的O 2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
在处理过程中，当有机气体进入等离子体体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室。反应室分成模块式管子区，每根管子的中央有一根放电极，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上，由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日益增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和飘移到较远的地方，给环境带来严重的污染；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨（主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物）的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
降解挥发性有机污染物（VOCs）传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOC很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。但由于等离子体是一门包含放点物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此，目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少，大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术。
