铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前最重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长,可以得到直径 2 英吋及更大的单晶和基片。它与 YBaCuO 等高温超导材料和晶格匹配好,介电常数较低,微波损耗小,因而适于制作高温超导微波电子器件(如远程通讯中的高温超导微波滤波器等)。有巨大的现实及潜在的应用前景。
主要性能参数
晶系 六方(常温):立方(>435℃)
晶格常数 六方:a=5.357A c=13.22 A 立方 a=3.821 A
熔点(℃):2080
密度 :6.52(g/cm3)
硬度 :6-6.5(mohs)
热膨胀系数:9.4x10-6/℃
介电常数:ε=21
损耗正切:(10ghz) ~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
颜色及外观: 依退火状况而不同,由棕黄色到褐色
抛光基片有自然孪晶畴
化学稳定性:室温下不溶于矿物酸,温度大于 150℃时可溶于 h3po4 特点 适于微波电子器件
有效面积:>90%
尺寸:10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,Ф15″,Ф20″,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度:0.5mm,1.0mm
抛光:单面或双面
晶向:<100> <110> <111>
晶面定向精度::±0.5°
边缘定向精度::2°(特殊要求可达 1°以内)
斜切晶片:可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角 1°-45°)的晶片
Ra:≤5Å(5µm×5µm)
包装:100 级洁净袋,1000 级超净室
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