1.将若干个钢瓶并联在烘箱内烘烤,内胆用热风置换,整体温度加热到130度,再用高温干燥的氮气置换真空夹层,将缠绕的绝热纸及内外层材料的湿度绝对清除后精抽高真空,整套工艺2-3天完成。
2.所有钢瓶的真空口用推拉阀,高真空波纹管连接总管道的支管气动角阀,由旋片泵-罗茨泵-扩散泵组成真空泵组对系统进行置换和精抽的抽真空操作,真空泵和真空测量仪表的的品牌由业主自定,进口和国产价格相差很大。
3.最终系统总管的真空度要优于7×10-5pa,波纹管及瓶口真空塞的真空度要优于5×10-3pa,根据测试,钢瓶如无其他工艺问题,瓶子真空塞口要测到稳定的优于2×10-2pa的真空度,静态蒸发率测试基本能达到型式试验要求。
4.所有真空管道全部采用不锈钢材料,波纹管采用1200度高温退火后的不锈钢材料,柔软度相当于塑料管,推拉阀采用高流导内抛光的不锈钢及铜制作,所有连接方式采用真空标准LF或KF连接,系统整体喷枪氦检漏率≤1×10-9Pa·m3/s。
杜瓦罐抽真空简要配置表
一、双级旋片式真空泵
每秒抽气速率30升(70升)
极限真空为6×10-2Pa
30升的功率为3KW(70升功率5.5KW)
二、电磁真空带充气阀
三、罗茨真空泵
极限真空为5×10-2Pa
速率每秒150升的功率为3KW
速率每秒300升的功率为5.5KW。
四、扩散真空泵
扩散泵的极限真空是7×10-5Pa
口径150mm的功率是1.5KW。
五、电阻规
电阻规为测量低真空的测量探头
六、电离规
电离规为测量高真空的测量探头
七、杜瓦罐烘箱
自动温控0~400度可调
复合数显真空仪表
烘箱功率6KW